目前,硅微粉的制備方法主要包括物理法和化學法,物理法包括高溫熔融噴射法、等離子體法、火焰成球法。高溫熔融噴射法是將高純度石英在2100~ 2500℃下熔融為液體,經過噴霧、冷卻,得到球形硅微粉。此法最易保證球化率和無定形率,但不易解決純度和霧化粒徑調整等問題;等離子體法的基本原理是利用等離子矩的高溫區將二氧化硅粉體熔化,由于液體表面張力的作用形成球形液滴,在快速冷卻過程中形成球形化顆粒。此法能量高、傳熱快、冷卻快,制備的產品形貌可控、純度高、無團聚;火焰成球法首先對進行粉碎、篩分、提純等前處理,然后將石英微粉送入燃氣—氧氣產生的高溫場中,進行高溫熔融、冷卻成球,最終形成高純度球形硅微粉,與等離子法和高溫熔融噴射法相比更易控制,更能實現工業化大規模生產,也是更具發展前途的生產工藝。
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