硅微粉的制備——熱分解法

文章來源：http://www.dyqzzz.cn 發布時間：2022-05-18 瀏覽次數：238

硅微粉的熱分解法又分為兩種：即三氯氫硅熱分解法，采用蒸溜和化學提純的方法對三氯氫硅進行預處理，約在950℃左右三氯氫硅開始熱解。可形成塊狀或棒狀的硅微粉、四氯化硅與氫氣。此法所制得單晶質量不高，受反應器和產品處理沾污影響而導致多晶質量亦不理想，生產設備不如三氯氫硅氫還原法簡單。而四碘化硅熱分解法則是先將四碘化硅重結晶后用蒸餾法提純，然后四碘化硅在1000℃左右熱分解，升華區溶得到棒狀、塊狀或針狀硅。此法對原料的提純比較有效，Al、In、Ga、B、Bi;等的碘化物均較碘化硅安定，故很容易從硅微粉中分離掉這些雜質;但是P、As、Sb等的碘化物較易分解，要從硅微粉中除去是困難的，所以在采用碘化法提純硅時，在碘化之前必需要用其他方法盡量除去后列的雜質。但碘的消耗量大，回收困難;同時，過程復雜，實收率低，成本高，原料與產品的重量比較大。因此該法較多為碘資源豐富國家采用。