在物理制備方法中,制約高純石英砂制備技術發展的瓶頸是石英的提純,化學法由于微乳液法和溶膠—凝膠法采用了大量的表面活性劑,使生產成本高,有機雜質不易除凈,難以工業化; 沉淀法最易工業化,但產品存在一定的顆粒團聚現象。噴霧法是將溶液通過各種物理手段進行霧化獲得超微粒子的一種化學與物理相結合的方法。它的基本操作過程是溶液的制備、噴霧、干燥、收集和熱處理。此方法特點是顆粒分布比較均勻,但顆粒尺寸為亞微米到10 μm,是一種合成粒徑可控納米粒子氧化物的新方法。S. C. Wean 等人利用優化的噴霧干燥法,制備出粒徑為2~4μm且中空球形的納米SiO2粒子。該粒子與生物相容性好,在吸入光動力治療可用做藥物運載工具。如何改良傳統的沉淀法已成為研究的重點。若能通過化學改性方法解決此問題,將對我國硅微粉的生產工業化快速發展有著深遠的意義。
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