常見的硅微粉制取方法——硅烷法

文章來源：http://www.dyqzzz.cn 發布時間：2022-05-17 瀏覽次數：117

自20世紀50年代開始，金屬氫化物公司進行了以硅烷為制備超純硅微粉的中間材料的研究。硅烷系由四氯化硅與氫化鋁鋰或硅化鎂作用制得，所制得硅烷在800℃-900℃熱分解為硅微粉和氫氣。硅燒法的優缺點:其原料SiH₄是一種高揮發性氣體，凈化氣體較容易;發生硅烷過程的本身金屬污染顯著減少;分離、提純較容易進行;熱分解不需要還原劑，避免了大多數方法中所受到的還原劑純度的限制，不存在還原沾污問題，裝置易大型化;是一種均相反應，硅烷立即發生，反應容易開始、終止和調解，分解成硅微粉的反應溫度較低，能量較少;分解效率高、不必回收，生產實收率高、成本低、產量潛力最大。但是，硅烷是一種有毒的爆炸性氣體，LiAIH₄也具有一定危險性。安全保護是硅烷法一個重要問題，至今這些問題尚未徹底解決。